標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則等內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于硬面光掩模用玻璃基板。
標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 15871-1995
標(biāo)準(zhǔn)名稱：硬面光掩?；?/p>
英文名稱：Hard surface photomask substrates
標(biāo)準(zhǔn)類型：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：1995-01-02
實(shí)施日期：1996-08-01
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（CCS）：電子元器件與信息技術(shù)>>電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備>>L97加工專用設(shè)備
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（ICS）：31.030
起草單位：長(zhǎng)沙韶光微電子總公司
歸口單位：全國(guó)半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
發(fā)布單位：國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局
檢測(cè)流程步驟
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