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標準簡介：本標準規(guī)定了電子工業(yè)用氣體——瓶裝氧化亞氮的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸和貯存要求。本標準適用于硝酸銨熱分解工藝制取的氧化亞氮。該產品主要用于電子工業(yè)中二氧化硅的化學氣相淀積、等離子工藝。
標準號：GB/T 14600-1993
標準名稱：電子工業(yè)用氣體 氧化亞氮
英文名稱：Gases for electronic industry. Nitrous oxide
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
標準狀態(tài)：作廢
發(fā)布日期：1993-08-26
實施日期：1994-07-01
中國標準分類號（CCS）：化工>>其他化工產品>>G86工業(yè)氣體與化學氣體
國際標準分類號（ICS）：化工技術>>化工產品>>71.100.20工業(yè)氣體
替代以下標準：被GB/T 14600-2009代替
起草單位：化工部西南化工研究院
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發(fā)布單位：國家技術監(jiān)督局
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