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檢測執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽：
標(biāo)準(zhǔn)簡介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用掃描電鏡測量納米級長度的基本原則。適用于測量10nm-500nm的點或線的間距。
標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 20307-2006
標(biāo)準(zhǔn)名稱：納米級長度的掃描電鏡測量方法通則
英文名稱：General rules for nanometer-scale lengthmeasurement by SEM
標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：2006-07-19
實施日期：2007-02-01
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號（CCS）：儀器、儀表>>光學(xué)儀器>>N33電子光學(xué)與其他物理光學(xué)儀器
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號（ICS）：計量學(xué)和測量、物理現(xiàn)象>>17.040 長度和角度測量?成像技術(shù)>>37.020光學(xué)設(shè)備
起草單位：中國科學(xué)院地質(zhì)與地球物理研究所、同濟大學(xué)，中國科學(xué)院化學(xué)所，中國地質(zhì)科學(xué)院礦產(chǎn)資源研究所，上海理工大學(xué)
歸口單位：全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
發(fā)布單位：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.
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